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금속박막형 압력센서의 제작과 그 특성 = Fabrication of metal thin-film pressure sensor and its characteristics
표제/저자사항 금속박막형 압력센서의 제작과 그 특성 = Fabrication of metal thin-film pressure sensor and its characteristics / 정귀상, 최성규, 남효덕, 이원재, 송재성
형태사항 p. 405-409: 삽도; 26 cm
주기사항 수록자료: 전기전자재료학회논문지. 한국전기전자재료학회. Vol.14 no.5(2001년 5월), p. 405-409 14:5<405 상세보기 ISSN 1226-7945
저자: 정귀상, 동서대학교 정보통신공학부 E-MAIL: gschung@dongseo.ac.kr
저자: 최성규, 영남대학교 전자공학과
저자: 남효덕, 영남대학교 전자공학과
저자: 이원재, KERI 신소재응용그룹
저자: 송재성, KERI 신소재응용그룹
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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