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RF magnetron 스퍼터링법으로 성장시킨 Ba(Z
RF magnetron 스퍼터링법으로 성장시킨 Ba(Z$$r_{0.2}$$< / TEX>T$$i_{0.8}$$< / TEX>)O₃ 박막의 특성 = Preparation and properties of Ba(Z$$r_{0.2}$$< / TEX>T$$i_{0.8}$$< / TEX>)O₃ thin films grown by RF magnetron sputtering method
표제/저자사항
RF magnetron 스퍼터링법으로 성장시킨 Ba(Z$$r_{0.2}$$< / TEX>T$$i_{0.8}$$< / TEX>)O₃ 박막의 특성 = Preparation and properties of Ba(Z$$r_{0.2}$$< / TEX>T$$i_{0.8}$$< / TEX>)O₃ thin films grown by RF magnetron sputtering method / 최원석, 장범식, 김진철, 박태석, 이준신, 홍병유
형태사항
p. 567-571: 삽도; 26 cm
주기사항
수록자료: 전기전자재료학회논문지. 한국전기전자재료학회. Vol.14 no.7(2001년 7월), p. 567-571 14:7<567 상세보기 ISSN 1226-7945
저자: 최원석, 성균관대학교 전기전자 및 컴퓨터공학부 E-MAIL: feelws@mail.skku.ac.kr
저자: 장범식, 성균관대학교 전기전자 및 컴퓨터공학부
저자: 김진철, 삼성전기 기술총괄
저자: 박태석, 삼성전기 기술총괄
저자: 이준신, 성균관대학교 전기전자 및 컴퓨터공학부
저자: 홍병유, 성균관대학교 전기전자 및 컴퓨터공학부
저자: 최원석, 성균관대학교 전기전자 및 컴퓨터공학부 E-MAIL: feelws@mail.skku.ac.kr
저자: 장범식, 성균관대학교 전기전자 및 컴퓨터공학부
저자: 김진철, 삼성전기 기술총괄
저자: 박태석, 삼성전기 기술총괄
저자: 이준신, 성균관대학교 전기전자 및 컴퓨터공학부
저자: 홍병유, 성균관대학교 전기전자 및 컴퓨터공학부
출처
국립중앙도서관 바로가기
MARC 보기
001KMO201509136
00520150303111639
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008150107s2001 gak 100 kor
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24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관
260 ▼a원주 :▼b토지문화재단,▼c2001
300 ▼a81 p. ;▼c30 cm
500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관
504 ▼a참고문헌 수록
650 8▼a생명 과학[生命科學]
650 8▼a생명론[生命論]
710 ▼a토지문화재단
710 ▼a한국생명윤리학회
710 ▼a토지문화관
9501 ▼a가격불명
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
