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CF₄ / Ar 플라즈마 내 Cl₂첨가에 의한 SrBi₂Ta₂
CF₄ / Ar 플라즈마 내 Cl₂첨가에 의한 SrBi₂Ta₂$$O_9$$< / TEX> 박막의 식각 특성 = Etching characteristics of SrBi₂Ta₂$$O_9$$< / TEX> thin film with adding Cl₂ into CF₄ / Ar plasma
표제/저자사항
CF₄ / Ar 플라즈마 내 Cl₂첨가에 의한 SrBi₂Ta₂$$O_9$$< / TEX> 박막의 식각 특성 = Etching characteristics of SrBi₂Ta₂$$O_9$$< / TEX> thin film with adding Cl₂ into CF₄ / Ar plasma / 김동표, 김창일, 이원재, 유병곤, 김태형, 장의구
형태사항
p. 714-719: 삽도; 26 cm
주기사항
수록자료: 전기전자재료학회논문지. 한국전기전자재료학회. Vol.14 no.9(2001년 9월), p. 714-719 14:9<714 상세보기 ISSN 1226-7945
저자: 김동표, 중앙대학교 전기전자공학부 E-MAIL: dpkim@ms.cau.ac.kr
저자: 김창일, 중앙대학교 전기전자공학부
저자: 이원재, 한국전자통신연구소
저자: 유병곤, 한국전자통신연구소
저자: 김태형, 여주대학 전기과
저자: 장의구, 중앙대학교 전기전자공학부
저자: 김동표, 중앙대학교 전기전자공학부 E-MAIL: dpkim@ms.cau.ac.kr
저자: 김창일, 중앙대학교 전기전자공학부
저자: 이원재, 한국전자통신연구소
저자: 유병곤, 한국전자통신연구소
저자: 김태형, 여주대학 전기과
저자: 장의구, 중앙대학교 전기전자공학부
출처
국립중앙도서관 바로가기
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001KMO201509136
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008150107s2001 gak 100 kor
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24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관
260 ▼a원주 :▼b토지문화재단,▼c2001
300 ▼a81 p. ;▼c30 cm
500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관
504 ▼a참고문헌 수록
650 8▼a생명 과학[生命科學]
650 8▼a생명론[生命論]
710 ▼a토지문화재단
710 ▼a한국생명윤리학회
710 ▼a토지문화관
9501 ▼a가격불명
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
