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유도결합 플라즈마에 의한 (Ba, Sr)TiO₃ 박막의 식각 손상에 관한 연구 = Damages of etched (Ba, Sr)TiO₃ thin films by inductively coupled plasmas
표제/저자사항
유도결합 플라즈마에 의한 (Ba, Sr)TiO₃ 박막의 식각 손상에 관한 연구 = Damages of etched (Ba, Sr)TiO₃ thin films by inductively coupled plasmas / 최성기, 김창일, 장의구
형태사항
p. 785-791: 삽도; 26 cm
주기사항
수록자료: 전기전자재료학회논문지. 한국전기전자재료학회. Vol.14 no.10(2001년 10월), p. 785-791 14:10<785 상세보기 ISSN 1226-7945
저자: 최성기, 중앙대학교 전기전자공학부
저자: 김창일, 중앙대학교 전기전자공학부 E-MAIL: cikim@cau.ac.kr
저자: 장의구, 중앙대학교 전기전자공학부
저자: 최성기, 중앙대학교 전기전자공학부
저자: 김창일, 중앙대학교 전기전자공학부 E-MAIL: cikim@cau.ac.kr
저자: 장의구, 중앙대학교 전기전자공학부
출처
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001KMO201509136
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24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관
260 ▼a원주 :▼b토지문화재단,▼c2001
300 ▼a81 p. ;▼c30 cm
500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관
504 ▼a참고문헌 수록
650 8▼a생명 과학[生命科學]
650 8▼a생명론[生命論]
710 ▼a토지문화재단
710 ▼a한국생명윤리학회
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9501 ▼a가격불명
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
