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Au / Ta₂
Au / Ta₂$$O_5$$< / TEX> / Pt MIM capacitor의 annealing과 유전 특성 = (A)study on the dielectric and annealing properties in Au / Ta₂$$O_5$$< / TEX> / Pt MIM capacitor
표제/저자사항
Au / Ta₂$$O_5$$< / TEX> / Pt MIM capacitor의 annealing과 유전 특성 = (A)study on the dielectric and annealing properties in Au / Ta₂$$O_5$$< / TEX> / Pt MIM capacitor / 김인성, 정순종, 송재성, 윤문수, 박정후
형태사항
p. 1016-1022: 삽도; 26 cm
주기사항
수록자료: 전기전자재료학회논문지. 한국전기전자재료학회. Vol.14 no.12(2001년 12월), p. 1016-1022 14:12<1016 상세보기 ISSN 1226-7945
저자: 김인성, 한국전기연구원 전자기소자그룹 E-MAIL: kimis@keri.re.kr
저자: 정순종, 한국전기연구원 전자기소자그룹
저자: 송재성, 한국전기연구원 전자기소자그룹
저자: 윤문수, 한국전기연구원 전자기소자그룹
저자: 박정후, 부산대학교 전기공학과
저자: 김인성, 한국전기연구원 전자기소자그룹 E-MAIL: kimis@keri.re.kr
저자: 정순종, 한국전기연구원 전자기소자그룹
저자: 송재성, 한국전기연구원 전자기소자그룹
저자: 윤문수, 한국전기연구원 전자기소자그룹
저자: 박정후, 부산대학교 전기공학과
출처
국립중앙도서관 바로가기
MARC 보기
001KMO201509136
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008150107s2001 gak 100 kor
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24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관
260 ▼a원주 :▼b토지문화재단,▼c2001
300 ▼a81 p. ;▼c30 cm
500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관
504 ▼a참고문헌 수록
650 8▼a생명 과학[生命科學]
650 8▼a생명론[生命論]
710 ▼a토지문화재단
710 ▼a한국생명윤리학회
710 ▼a토지문화관
9501 ▼a가격불명
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
