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비열플라즈마를 이용한 CF₄ 분해에 미치는 혼합가스의 영향 = Effect of mixed gases on decomposition characteristic of CF₄ by non-thermal plasma
표제/저자사항
비열플라즈마를 이용한 CF₄ 분해에 미치는 혼합가스의 영향 = Effect of mixed gases on decomposition characteristic of CF₄ by non-thermal plasma / 박재윤, 정장근, 김종석, 김광수, 임근희
형태사항
p. 543-550: 삽도; 26 cm
주기사항
수록자료: 전기전자재료학회논문지. 한국전기전자재료학회. Vol.15 no.6(2002년 6월), p. 543-550 15:6<543 상세보기 ISSN 1226-7945
저자: 박재윤, 경남대학교 전기·전자공학부 E-MAIL: jypark@kyungnam.ac.kr
저자: 정장근, 경남대학교 전기·전자공학부
저자: 김종석, 경남대학교 전기·전자공학부
저자: 김광수, 한국전기연구원
저자: 임근희, 한국전기연구원
저자: 박재윤, 경남대학교 전기·전자공학부 E-MAIL: jypark@kyungnam.ac.kr
저자: 정장근, 경남대학교 전기·전자공학부
저자: 김종석, 경남대학교 전기·전자공학부
저자: 김광수, 한국전기연구원
저자: 임근희, 한국전기연구원
출처
국립중앙도서관 바로가기
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24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관
260 ▼a원주 :▼b토지문화재단,▼c2001
300 ▼a81 p. ;▼c30 cm
500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관
504 ▼a참고문헌 수록
650 8▼a생명 과학[生命科學]
650 8▼a생명론[生命論]
710 ▼a토지문화재단
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710 ▼a토지문화관
9501 ▼a가격불명
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
