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Ar / CF₄ 유도결합 플라즈마를 이용한 (B
Ar / CF₄ 유도결합 플라즈마를 이용한 (B$$a_{0.6}$$S$$r_{0.4}$$< / TEX>)TiO₃ 박막의 식각 특성 = (The)etching characteristics of (B$$a_{0.6}$$S$$r_{0.4}$$< / TEX>)TiO₃ films using Ar / CF₄ inductively coupled plasma
표제/저자사항
Ar / CF₄ 유도결합 플라즈마를 이용한 (B$$a_{0.6}$$S$$r_{0.4}$$< / TEX>)TiO₃ 박막의 식각 특성 = (The)etching characteristics of (B$$a_{0.6}$$S$$r_{0.4}$$< / TEX>)TiO₃ films using Ar / CF₄ inductively coupled plasma / 강필승, 김경태, 김동표, 김창일, 이수재
형태사항
p. 933-938: 삽도; 26 cm
주기사항
수록자료: 전기전자재료학회논문지. 한국전기전자재료학회. Vol.15 no.11(2002년 11월), p. 933-938 15:11<933 상세보기 ISSN 1226-7945
저자: 강필승, 중앙대학교 전자전기공학부 E-MAIL: cikim@cau.ac.kr
저자: 김경태, 중앙대학교 전자전기공학부
저자: 김동표, 중앙대학교 전자전기공학부
저자: 김창일, 중앙대학교 전자전기공학부
저자: 이수재, ETRI 반도체 원천기술 기술 연구소
저자: 강필승, 중앙대학교 전자전기공학부 E-MAIL: cikim@cau.ac.kr
저자: 김경태, 중앙대학교 전자전기공학부
저자: 김동표, 중앙대학교 전자전기공학부
저자: 김창일, 중앙대학교 전자전기공학부
저자: 이수재, ETRI 반도체 원천기술 기술 연구소
출처
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MARC 보기
001KMO201509136
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24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관
260 ▼a원주 :▼b토지문화재단,▼c2001
300 ▼a81 p. ;▼c30 cm
500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관
504 ▼a참고문헌 수록
650 8▼a생명 과학[生命科學]
650 8▼a생명론[生命論]
710 ▼a토지문화재단
710 ▼a한국생명윤리학회
710 ▼a토지문화관
9501 ▼a가격불명
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
