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마이크로센서 응용을 위한 실리콘 미세가공 기술 = Silicon micromachining techniques for microsensor applications
표제/저자사항 마이크로센서 응용을 위한 실리콘 미세가공 기술 = Silicon micromachining techniques for microsensor applications / 고희선, 김영민, 권대혁, 도양희, 이광만
형태사항 p. 118-126: 삽도; 26 cm
주기사항 수록자료: 産業技術硏究所論文集-제주대학교 산업기술연구소. 濟州大學校 産業技術硏究所. 제10권 2호(1999년 12월), p. 118-126 10:2<118 상세보기
저자: 고희선, 제주대학교 대학원 전자공학과
저자: 김영민, 경북대학교 대학원 전자공학과
저자: 권대혁, 경일대학교 전자정보공학과
저자: 도양희, 제주대학교 전자공학과, 산업기술연구소
저자: 이광만, 제주대학교 전자공학과, 산업기술연구소
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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