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실리콘 미세가공 기술을 이용한 마이크로 진공 센서 = Micro-vacuum sensor using silicon micromachining techniques
표제/저자사항
실리콘 미세가공 기술을 이용한 마이크로 진공 센서 = Micro-vacuum sensor using silicon micromachining techniques / 이광만, 고성택, 김영민, 고희선
형태사항
p. 121-127: 삽도; 26 cm
주기사항
수록자료: 産業技術硏究所論文集-제주대학교 산업기술연구소. 濟州大學校 産業技術硏究所. 제9권 1호(1998년 6월), p. 121-127 9:1<121 상세보기
저자: 이광만, 제주대학교 전자공학과
저자: 고성택, 제주대학교 전자공학과
저자: 김영민, 제주대학교 대학원
저자: 고희선, 제주대학교 대학원
저자: 이광만, 제주대학교 전자공학과
저자: 고성택, 제주대학교 전자공학과
저자: 김영민, 제주대학교 대학원
저자: 고희선, 제주대학교 대학원
출처
국립중앙도서관 바로가기
MARC 보기
001KMO201509136
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24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관
260 ▼a원주 :▼b토지문화재단,▼c2001
300 ▼a81 p. ;▼c30 cm
500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관
504 ▼a참고문헌 수록
650 8▼a생명 과학[生命科學]
650 8▼a생명론[生命論]
710 ▼a토지문화재단
710 ▼a한국생명윤리학회
710 ▼a토지문화관
9501 ▼a가격불명
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
