국가전거
저자 전거 검색
기사
플라즈마 Silane 환원 반응에 의한 텅스텐 박막의 증착 = Tungsten thin films deposited by plasma silane reduction process
표제/저자사항
플라즈마 Silane 환원 반응에 의한 텅스텐 박막의 증착 = Tungsten thin films deposited by plasma silane reduction process / 洪鍾聲, 金龍泰, 閔碩基, 洪致裕
형태사항
p. 44-51: 삽도; 26 cm
주기사항
수록자료: 電子工學會論文誌.A. 大韓電子工學會. 28卷 2號(1991년 2월), p. 44-51 28:2<44 상세보기 ISSN 1016-135X
저자: 홍종성, 정회원, 한국과학기술연구원 반도체재료연구실, 동국대학교 물리학과
저자: 김용태, 정회원, 한국과학기술연구원 반도체재료연구실
저자: 민석기, 정회원, 한국과학기술연구원 반도체재료연구실
저자: 홍치유, 정회원, 동국대학교 물리학과
저자: 홍종성, 정회원, 한국과학기술연구원 반도체재료연구실, 동국대학교 물리학과
저자: 김용태, 정회원, 한국과학기술연구원 반도체재료연구실
저자: 민석기, 정회원, 한국과학기술연구원 반도체재료연구실
저자: 홍치유, 정회원, 동국대학교 물리학과
출처
국립중앙도서관 바로가기
MARC 보기
001KMO201509136
00520150303111639
007ta
008150107s2001 gak 100 kor
0490 ▼lEM6076783▼lEM6076784▼c2▼fSY
05201▼a470▼b15-3
056 ▼a470▼26
08201▼a570▼223
24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관
260 ▼a원주 :▼b토지문화재단,▼c2001
300 ▼a81 p. ;▼c30 cm
500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관
504 ▼a참고문헌 수록
650 8▼a생명 과학[生命科學]
650 8▼a생명론[生命論]
710 ▼a토지문화재단
710 ▼a한국생명윤리학회
710 ▼a토지문화관
9501 ▼a가격불명
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
