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이온 도핑 방법에 의한 실리콘 박막의 도핑 연구 = (A)study on Ion shower doping in si thin film
표제/저자사항
이온 도핑 방법에 의한 실리콘 박막의 도핑 연구 = (A)study on Ion shower doping in si thin film / 柳洵城, 田正牧, 李景夏, 文炳淵, 張震
형태사항
p. 106-112: 삽도; 26 cm
주기사항
수록자료: 電子工學會論文誌. A. 大韓電子工學會. 31卷 5號(1994년 5월), p. 106-112 31:5<106 상세보기 ISSN 1016-135X
저자: 류순성, 경희대학교 물리학과 및 기초과학연구소
저자: 전정목, 경희대학교 물리학과 및 기초과학연구소
저자: 이경하, 경희대학교 물리학과 및 기초과학연구소
저자: 문병연, 경희대학교 물리학과 및 기초과학연구소
저자: 장진, 경희대학교 물리학과 및 기초과학연구소
저자: 류순성, 경희대학교 물리학과 및 기초과학연구소
저자: 전정목, 경희대학교 물리학과 및 기초과학연구소
저자: 이경하, 경희대학교 물리학과 및 기초과학연구소
저자: 문병연, 경희대학교 물리학과 및 기초과학연구소
저자: 장진, 경희대학교 물리학과 및 기초과학연구소
출처
국립중앙도서관 바로가기
MARC 보기
001KMO201509136
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24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관
260 ▼a원주 :▼b토지문화재단,▼c2001
300 ▼a81 p. ;▼c30 cm
500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관
504 ▼a참고문헌 수록
650 8▼a생명 과학[生命科學]
650 8▼a생명론[生命論]
710 ▼a토지문화재단
710 ▼a한국생명윤리학회
710 ▼a토지문화관
9501 ▼a가격불명
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
