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Optical Stepper의 이중노광에 의한 미세한 포토레지스트 패턴의 형성 = Very fine photoresist pattern formation using double exposure of optical wafer stepper
표제/저자사항
Optical Stepper의 이중노광에 의한 미세한 포토레지스트 패턴의 형성 = Very fine photoresist pattern formation using double exposure of optical wafer stepper / 楊典旭, 金鳳烈, 朴喆淳, 朴亨茂
형태사항
p. 69-75: 삽도; 26 cm
주기사항
수록자료: 電子工學會論文誌. A. 大韓電子工學會. 31卷 7號(1994년 7월), p. 69-75 31:7<69 상세보기 ISSN 1016-135X
저자: 양전욱, 한국전자통신연구소
저자: 김봉열, 연세대학교 전자공학과
저자: 박철순, 한국전자통신연구소
저자: 박형무, 한국전자통신연구소
저자: 양전욱, 한국전자통신연구소
저자: 김봉열, 연세대학교 전자공학과
저자: 박철순, 한국전자통신연구소
저자: 박형무, 한국전자통신연구소
출처
국립중앙도서관 바로가기
MARC 보기
001KMO201509136
00520150303111639
007ta
008150107s2001 gak 100 kor
0490 ▼lEM6076783▼lEM6076784▼c2▼fSY
05201▼a470▼b15-3
056 ▼a470▼26
08201▼a570▼223
24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관
260 ▼a원주 :▼b토지문화재단,▼c2001
300 ▼a81 p. ;▼c30 cm
500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관
504 ▼a참고문헌 수록
650 8▼a생명 과학[生命科學]
650 8▼a생명론[生命論]
710 ▼a토지문화재단
710 ▼a한국생명윤리학회
710 ▼a토지문화관
9501 ▼a가격불명
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
