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RTA 공정 및 Trench 격리기술을 사용한 PSA 바이폴라 소자의 특성 연구 = (A)study on the characteristics of psa device using rta process and trench technology
표제/저자사항 RTA 공정 및 Trench 격리기술을 사용한 PSA 바이폴라 소자의 특성 연구 = (A)study on the characteristics of psa device using rta process and trench technology / 具用書, 姜相元, 安哲
형태사항 p. 82-90: 삽도; 26 cm
주기사항 수록자료: 電子工學會論文誌.A. 大韓電子工學會. 28卷 9號(1991년 9월), p. 82-90 28:9<82 상세보기 ISSN 1016-135X
저자: 구용서, 정회원, 한국전자통신연구소
저자: 강상원, 정회원, 한국전자통신연구소
저자: 안철, 정회원, 서강대학교 전자공학과
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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