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LPCVD 비정질실리콘 박막의 고상결정화에 미치는 기판의 영향 = (The)effects of the substrates on the solid phase crystallization in LPCVD amorphouse silicon films
표제/저자사항 LPCVD 비정질실리콘 박막의 고상결정화에 미치는 기판의 영향 = (The)effects of the substrates on the solid phase crystallization in LPCVD amorphouse silicon films / 馬大泳, 朴基徹, 金基完
형태사항 p. 14-19: 삽도; 26 cm
주기사항 수록자료: 電子工學會論文誌.A. 大韓電子工學會. 29卷 6號(1992년 6월), p. 14-19 29:6<14 상세보기 ISSN 1016-135X
저자: 마대영, 정회원, 경상대학교 전기공학과
저자: 박기철, 정회원, 경상대학교 전자재료공학과
저자: 김기완, 정회원, 경상대학교 전자공학과
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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