기사
소량의 산소이온 주입으로 제조된 SIMOX SOI의 특성 = (The)characteristics of SIMOX SOI formed by lower dose oxygen implantation
표제/저자사항 소량의 산소이온 주입으로 제조된 SIMOX SOI의 특성 = (The)characteristics of SIMOX SOI formed by lower dose oxygen implantation / 裵泳鎬, 金光一, 鄭旭珍, 權英規, 金氾晩, 李鐘玄
형태사항 p. 42-47: 삽도; 26 cm
주기사항 수록자료: 電子工學會論文誌.A. 大韓電子工學會. 29卷 6號(1992년 6월), p. 42-47 29:6<42 상세보기 ISSN 1016-135X
저자: 배영호, 정회원, 산업과학기술연구소 반도체 연구분야
저자: 김광일, 정회원, 산업과학기술연구소 반도체 연구분야
저자: 정욱진, 정회원, 산업과학기술연구소 반도체 연구분야
저자: 권영규, 정회원, 산업과학기술연구소 반도체 연구분야
저자: 김범만, 정회원, 포항공과대학 전자전기공학과
저자: 이종현, 정회원, 경북대학교 전자공학과
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
위로