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얇은 열산화-질화막의 특성평가 = Evaluation of Characteristics of Oxidized Thin LPCVD-Si₃N₄ Film
표제/저자사항
얇은 열산화-질화막의 특성평가 = Evaluation of Characteristics of Oxidized Thin LPCVD-Si₃N₄ Film / 丘庚完, 趙成佶, 洪鳳植
형태사항
p. 29-35: 삽도; 26 cm
주기사항
수록자료: 電子工學會論文誌.A. 大韓電子工學會. 29卷 9號(1992년 9월), p. 29-35 29:9<29 상세보기 ISSN 1016-135X
저자: 구경완, 정회원, 충청전문대학 전자과
저자: 조성길, 정회원, 충청대학교 금속공학과
저자: 홍봉식, 정회원, 충남대학교 전자공학과
저자: 구경완, 정회원, 충청전문대학 전자과
저자: 조성길, 정회원, 충청대학교 금속공학과
저자: 홍봉식, 정회원, 충남대학교 전자공학과
출처
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MARC 보기
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24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관
260 ▼a원주 :▼b토지문화재단,▼c2001
300 ▼a81 p. ;▼c30 cm
500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관
504 ▼a참고문헌 수록
650 8▼a생명 과학[生命科學]
650 8▼a생명론[生命論]
710 ▼a토지문화재단
710 ▼a한국생명윤리학회
710 ▼a토지문화관
9501 ▼a가격불명
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
