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증착된 비정질 실리콘층을 통한 As-Preamorphization 방법으로 형성된 소오스 / 드레인을 갖는 deep submicron PMOSFET의 제작 = Fabrication of deep submicron PMOSFET with the source / drain formed by the mothod of As-Preamorphization though the predeposited amorphous Si layer
표제/저자사항
증착된 비정질 실리콘층을 통한 As-Preamorphization 방법으로 형성된 소오스 / 드레인을 갖는 deep submicron PMOSFET의 제작 = Fabrication of deep submicron PMOSFET with the source / drain formed by the mothod of As-Preamorphization though the predeposited amorphous Si layer / 權相直, 金如換, 申永和, 金鍾焌, 李鐘德
형태사항
p. 51-58: 삽도; 26 cm
주기사항
수록자료: 電子工學會論文誌. A. 大韓電子工學會. 32卷 6號(1995년 6월), p. 51-58 32:6<51 상세보기 ISSN 1016-135X
저자: 권상직, 정회원, 경원대학교 전자공학과
저자: 김여환, 정회원, 관동대학교 전자공학과
저자: 신영화, 정회원, 경원대학교 전자공학과
저자: 김종준, 정회원, 서울대학교 반도체공동연구소
저자: 이종덕, 정회원, 서울대학교 반도체공동연구소
저자: 권상직, 정회원, 경원대학교 전자공학과
저자: 김여환, 정회원, 관동대학교 전자공학과
저자: 신영화, 정회원, 경원대학교 전자공학과
저자: 김종준, 정회원, 서울대학교 반도체공동연구소
저자: 이종덕, 정회원, 서울대학교 반도체공동연구소
출처
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001KMO201509136
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08201▼a570▼223
24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관
260 ▼a원주 :▼b토지문화재단,▼c2001
300 ▼a81 p. ;▼c30 cm
500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관
504 ▼a참고문헌 수록
650 8▼a생명 과학[生命科學]
650 8▼a생명론[生命論]
710 ▼a토지문화재단
710 ▼a한국생명윤리학회
710 ▼a토지문화관
9501 ▼a가격불명
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
