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<100>방향 실리콘 단결정에서의 저 에너지 붕소 이온 주입 공정에 대한 3차원 몬테 카를로 시뮬레이션 및 마스크 효과 = Three-dimensional monte carlo simulation and mask effect of low-energy boron ion implantation into <100>single-crystal silicon
표제/저자사항
<100>방향 실리콘 단결정에서의 저 에너지 붕소 이온 주입 공정에 대한 3차원 몬테 카를로 시뮬레이션 및 마스크 효과 = Three-dimensional monte carlo simulation and mask effect of low-energy boron ion implantation into <100>single-crystal silicon / 孫明植, 李俊賀, 宋榮珍, 黃好正
형태사항
p. 94-105: 삽도; 26 cm
주기사항
수록자료: 電子工學會論文誌. A. 大韓電子工學會. 32卷 8號(1995년 8월), p. 94-105 32:8<94 상세보기 ISSN 1016-135X
저자: 손명식, 정회원, 중앙대학교 전자공학과
저자: 이준하, 정회원, 중앙대학교 전자공학과
저자: 송영진, 정회원, 건양대학교 전자공학과
저자: 황호정, 정회원, 중앙대학교 전자공학과
저자: 손명식, 정회원, 중앙대학교 전자공학과
저자: 이준하, 정회원, 중앙대학교 전자공학과
저자: 송영진, 정회원, 건양대학교 전자공학과
저자: 황호정, 정회원, 중앙대학교 전자공학과
출처
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MARC 보기
001KMO201509136
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24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관
260 ▼a원주 :▼b토지문화재단,▼c2001
300 ▼a81 p. ;▼c30 cm
500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관
504 ▼a참고문헌 수록
650 8▼a생명 과학[生命科學]
650 8▼a생명론[生命論]
710 ▼a토지문화재단
710 ▼a한국생명윤리학회
710 ▼a토지문화관
9501 ▼a가격불명
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
