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Recess 산화를 이용한 자기정렬 $$n^+$$< / TEX>-p 폴리실리콘-실리콘 접합구조 = Self-aligned $$n^+$$< / TEX>-p polusilicon-silicon junction structure using the recess oxidation
표제/저자사항 Recess 산화를 이용한 자기정렬 $$n^+$$< / TEX>-p 폴리실리콘-실리콘 접합구조 = Self-aligned $$n^+$$< / TEX>-p polusilicon-silicon junction structure using the recess oxidation / 李宗昊, 朴榮俊, 李鍾德, 許昌洙
형태사항 p. 38-48: 삽도; 26 cm
주기사항 수록자료: 電子工學會論文誌.A. 大韓電子工學會. 30卷 6號(1993년 6월), p. 38-48 30:6<38 상세보기 ISSN 1016-135X
저자: 이종호, 정회원. 서울대학교 전자공학과
저자: 박영준, 정회원. 서울대학교 전자공학과
저자: 이종덕, 정회원. 서울대학교 전자공학과
저자: 허창수, 정회원. 인하대학교 전자공학과
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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