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엑시머 레이저를 이용하여 결정화한 PECVD 및 LPCVD 비정질 실리콘 박막의 특성 분석 = Characterization of PECVD and LPCVD a-Si films crystallized by excimer laser
표제/저자사항
엑시머 레이저를 이용하여 결정화한 PECVD 및 LPCVD 비정질 실리콘 박막의 특성 분석 = Characterization of PECVD and LPCVD a-Si films crystallized by excimer laser / 崔弘錫, 李成圭, 張根浩, 全明鐵, 韓民九
형태사항
p. 172-177: 삽도; 26 cm
주기사항
수록자료: 電子工學會論文誌. A. 大韓電子工學會. 33卷 6號(1996년 6월), p. 172-177 33:6<172 상세보기 ISSN 1016-135X
저자: 최홍석, 정회원, 서울대학교 전기공학과
저자: 이성규, 정회원, 현대전자
저자: 장근호, 정회원, 현대전자
저자: 전명철, 정회원, LG전자
저자: 한민구, 정회원, 서울대학교 전기공학과
저자: 최홍석, 정회원, 서울대학교 전기공학과
저자: 이성규, 정회원, 현대전자
저자: 장근호, 정회원, 현대전자
저자: 전명철, 정회원, LG전자
저자: 한민구, 정회원, 서울대학교 전기공학과
출처
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MARC 보기
001KMO201509136
00520150303111639
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008150107s2001 gak 100 kor
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24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관
260 ▼a원주 :▼b토지문화재단,▼c2001
300 ▼a81 p. ;▼c30 cm
500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관
504 ▼a참고문헌 수록
650 8▼a생명 과학[生命科學]
650 8▼a생명론[生命論]
710 ▼a토지문화재단
710 ▼a한국생명윤리학회
710 ▼a토지문화관
9501 ▼a가격불명
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
