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RTA 방법에 의한 Ti-실리사이드 형성과 그 특성 = Formation and characteristics of Ti-silicide by the rapid thermal annealing
표제/저자사항 RTA 방법에 의한 Ti-실리사이드 형성과 그 특성 = Formation and characteristics of Ti-silicide by the rapid thermal annealing / 崔致圭, 洪性樂, 高正大, 李光萬
형태사항 p. 53-66: 삽도; 26 cm
주기사항 수록자료: 논문집-제주대학교. 자연과학편. 濟州大學校. 30집(1990년 6월), p. 53-66 30<53 상세보기
저자: 최치규, 자연대학교 부교수
저자: 홍성락, 자연대학교 교수
저자: 고정대, 자연대학교 조교수
저자: 이광만, 공과대학 조교수
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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