국가전거

저자 전거 검색

인쇄

기사

표제/저자사항 직류마그네트론 스펏터링법으로 성장시킨 TiN 확산방지막의 열적 안정성 = Thermal stability of TiN diffusion barrier deposited by DC magnetron sputtering / 박병남, 박상준, 최시영

형태사항 p. 1-11: 삽도; 26 cm

주기사항 수록자료: 電子技術硏究誌. 慶北大學校出版部. 22卷 1號(2001년), p. 1-11 22:1<1 상세보기 ISSN 1225-214X
저자: 박병남, 경북대학교 대학원 전자공학과 박사과정
저자: 박상준, 아펙스㈜
저자: 최시영, 경북대학교 전자전기공학부 교수

출처 국립중앙도서관 바로가기

001KMO201509136

00520150303111639

007ta

008150107s2001 gak 100 kor

0490 ▼lEM6076783▼lEM6076784▼c2▼fSY

05201▼a470▼b15-3

056 ▼a470▼26

08201▼a570▼223

24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관

260 ▼a원주 :▼b토지문화재단,▼c2001

300 ▼a81 p. ;▼c30 cm

500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관

504 ▼a참고문헌 수록

650 8▼a생명 과학[生命科學]

650 8▼a생명론[生命論]

710 ▼a토지문화재단

710 ▼a한국생명윤리학회

710 ▼a토지문화관

9501 ▼a가격불명

담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)