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RF MEMS 응용을 위한 3차원 다공질 실리콘 산화막 구조체 제조 = 3-D structure fabrication of oxidized porous silicon for RF MEMS application
표제/저자사항
RF MEMS 응용을 위한 3차원 다공질 실리콘 산화막 구조체 제조 = 3-D structure fabrication of oxidized porous silicon for RF MEMS application / 김영민, 노기영, 권재우, 이종현
형태사항
p. 192-199: 삽도; 26 cm
주기사항
수록자료: 電子技術硏究誌. 慶北大學校 出版部. 22卷 1號(2001년), p. 192-199 22:1<192 상세보기 ISSN 1225-214X
저자: 김영민, 경북대학교 대학원 전자공학과 박사과정
저자: 노기영, 경북대학교 대학원 전자공학과 석사과정
저자: 권재우, 경북대학교 대학원 전자공학과 석사과정
저자: 이종현, 경북대학교 대학원 전자전기공학부 교수
저자: 김영민, 경북대학교 대학원 전자공학과 박사과정
저자: 노기영, 경북대학교 대학원 전자공학과 석사과정
저자: 권재우, 경북대학교 대학원 전자공학과 석사과정
저자: 이종현, 경북대학교 대학원 전자전기공학부 교수
출처
국립중앙도서관 바로가기
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001KMO201509136
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24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관
260 ▼a원주 :▼b토지문화재단,▼c2001
300 ▼a81 p. ;▼c30 cm
500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관
504 ▼a참고문헌 수록
650 8▼a생명 과학[生命科學]
650 8▼a생명론[生命論]
710 ▼a토지문화재단
710 ▼a한국생명윤리학회
710 ▼a토지문화관
9501 ▼a가격불명
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
