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Co-Si계의 동시증착과 고상반응시 상전이 및 CoSi₂층의 저온정합성장 = Phase sequence in condeposition and solid state reaction of Co-Si system and low temperature epitaxial growth of CoSi₂layer
표제/저자사항 Co-Si계의 동시증착과 고상반응시 상전이 및 CoSi₂층의 저온정합성장 = Phase sequence in condeposition and solid state reaction of Co-Si system and low temperature epitaxial growth of CoSi₂layer / 박상욱, 심재엽, 지응준, 최정동, 곽준섭, 백홍구
형태사항 p. 439-454: 삽도; 26 cm
주기사항 수록자료: 韓國眞空學會誌. 韓國眞空學會. 2권 4호(1993년 11월), p. 439-454 2:4<439 상세보기 ISSN 1225-8822
저자: 박상욱, 연세대학교 금속공학과
저자: 심재엽, 연세대학교 금속공학과
저자: 지응준, 연세대학교 금속공학과
저자: 최정동, 연세대학교 금속공학과
저자: 곽준섭, 연세대학교 금속공학과
저자: 백홍구, 연세대학교 금속공학과
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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