기사
Ar이 이온주입된 Si 기판의 결함회복 특성 = Anneling behavior of ar implant induced damage in Si
표제/저자사항 Ar이 이온주입된 Si 기판의 결함회복 특성 = Anneling behavior of ar implant induced damage in Si / 김광일, 이상환, 정욱진, 배영호, 권영규, 김범만, 삼야 박
형태사항 p. 468-473: 삽도; 26 cm
주기사항 수록자료: 韓國眞空學會誌. 韓國眞空學會. 2권 4호(1993년 11월), p. 468-473 2:4<468 상세보기 ISSN 1225-8822
저자: 김광일, 산업과학기술연구소 전자전기연구분야
저자: 이상환, 한국전자통신연구소 반도체연구단
저자: 정욱진, 산업과학기술연구소 전자전기연구분야
저자: 배영호, 산업과학기술연구소 전자전기연구분야
저자: 권영규, 산업과학기술연구소 전자전기연구분야
저자: 김범만, 포항공과대학 전자전기공학과
저자: 삼야 박, 경응의숙 이공학부전기공학과
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
위로