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스퍼터링 챔버에 설치한 in-situ 타원해석기의 성능평가 = Evaluation of the in-situ ellipsometer mounted on a sputtering chamber
표제/저자사항
스퍼터링 챔버에 설치한 in-situ 타원해석기의 성능평가 = Evaluation of the in-situ ellipsometer mounted on a sputtering chamber / 박광범, 신용환, 구교근, 이순일, 김상열, 오수기
형태사항
p. 166-172: 삽도; 26 cm
주기사항
수록자료: 韓國眞空學會誌. 韓國眞空學會. 3권 2호(1994년 5월), p. 166-172 3:2<166 상세보기 ISSN 1225-8822
저자: 박광범, 아주대학교 물리학과
저자: 신용환, 아주대학교 물리학과
저자: 구교근, 아주대학교 물리학과
저자: 이순일, 아주대학교 물리학과
저자: 김상열, 아주대학교 물리학과
저자: 오수기, 아주대학교 물리학과
저자: 박광범, 아주대학교 물리학과
저자: 신용환, 아주대학교 물리학과
저자: 구교근, 아주대학교 물리학과
저자: 이순일, 아주대학교 물리학과
저자: 김상열, 아주대학교 물리학과
저자: 오수기, 아주대학교 물리학과
출처
국립중앙도서관 바로가기
MARC 보기
001KMO201509136
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24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관
260 ▼a원주 :▼b토지문화재단,▼c2001
300 ▼a81 p. ;▼c30 cm
500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관
504 ▼a참고문헌 수록
650 8▼a생명 과학[生命科學]
650 8▼a생명론[生命論]
710 ▼a토지문화재단
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710 ▼a토지문화관
9501 ▼a가격불명
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
