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이온펌프의 초고진공영역에서의 배기특성개선 = (The)improvement in pumping characteristics of sputter ion pumps in the ultra high vacuum(UHV) region
표제/저자사항 이온펌프의 초고진공영역에서의 배기특성개선 = (The)improvement in pumping characteristics of sputter ion pumps in the ultra high vacuum(UHV) region / 김정선, 여환욱, 박종윤
형태사항 p. 401-404: 삽도; 26 cm
주기사항 수록자료: 韓國眞空學會誌. 韓國眞空學會. 3권 4호(1994년 11월), p. 401-404 3:4<401 상세보기 ISSN 1225-8822
저자: 김정선, 성균관대학교 물리학과
저자: 여환욱, 성균관대학교 물리학과
저자: 박종윤, 성균관대학교 물리학과
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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