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메탄, 메탄-수소 및 메탄-아르곤 플라즈마로부터 합성된 다이아몬드성 탄소막 = Diamond-like carbon films synthesized from CH₄, CH₄-H₂and CH₄-Ar plasmas
표제/저자사항 메탄, 메탄-수소 및 메탄-아르곤 플라즈마로부터 합성된 다이아몬드성 탄소막 = Diamond-like carbon films synthesized from CH₄, CH₄-H₂and CH₄-Ar plasmas / 최윤, 홍진후, 이행우, 송정식
형태사항 p. 12-17: 삽도; 26 cm
주기사항 수록자료: 韓國眞空學會誌. 韓國眞空學會. 4권 1호(1995년 3월), p. 12-17 4:1<12 상세보기 ISSN 1225-8822
저자: 최윤, 한화그룹 종합연구소, 생산기술연구원 표면기술실
저자: 홍진후, 한화그룹 종합연구소, 생산기술연구원 표면기술실
저자: 이행우, 한화그룹 종합연구소, 생산기술연구원 표면기술실
저자: 송정식, 한화그룹 종합연구소, 생산기술연구원 표면기술실
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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