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고진공, 초고진공, 대기 환경에서의 STS 표면의 오염 정량화 = (The)quantitative analysis of STS contamination under the condition of HV, UHV and air
표제/저자사항 고진공, 초고진공, 대기 환경에서의 STS 표면의 오염 정량화 = (The)quantitative analysis of STS contamination under the condition of HV, UHV and air / 서지근, 신용현, 홍승수, 정광화, 이상길, 이규장
형태사항 p. 238-246: 삽도; 26 cm
주기사항 수록자료: 韓國眞空學會誌. 韓國眞空學會. 4권 3호(1995년 9월), p. 238-246 4:3<238 상세보기 ISSN 1225-8822
저자: 서진근, 한국표준과학연구원 압력진공구룹
저자: 신용현, 한국표준과학연구원 압력진공구룹
저자: 홍승수, 한국표준과학연구원 압력진공구룹
저자: 정광화, 한국표준과학연구원 압력진공구룹
저자: 이상길, 삼성전자 분석기술실
저자: 이규장, 한국과학기술원 물리학과
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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