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in-line XPS와 AFM을 이용한 유기물의 UV / ozone 건식세정과정 연구 = UV / ozone cleaning processes for organic films on si studied by in-line XPS and AFM
표제/저자사항
in-line XPS와 AFM을 이용한 유기물의 UV / ozone 건식세정과정 연구 = UV / ozone cleaning processes for organic films on si studied by in-line XPS and AFM / 이경우, 황병철, 손동수, 천희곤, 김경중, 문대원, 안강호
형태사항
p. 261-269: 삽도; 26 cm
주기사항
수록자료: 韓國眞空學會誌. 韓國眞空學會. 4권 3호(1995년 9월), p. 261-269 4:3<261 상세보기 ISSN 1225-8822
저자: 이경우, 울산대학교 재료공학과
저자: 황병철, 울산대학교 재료공학과
저자: 손동수, 울산대학교 재료공학과
저자: 천희곤, 울산대학교 재료공학과
저자: 김경중, 한국표준과학연구원
저자: 문대원, 한국표준과학연구원
저자: 안강호, 한양대학교 기계공학과
저자: 이경우, 울산대학교 재료공학과
저자: 황병철, 울산대학교 재료공학과
저자: 손동수, 울산대학교 재료공학과
저자: 천희곤, 울산대학교 재료공학과
저자: 김경중, 한국표준과학연구원
저자: 문대원, 한국표준과학연구원
저자: 안강호, 한양대학교 기계공학과
출처
국립중앙도서관 바로가기
MARC 보기
001KMO201509136
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24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관
260 ▼a원주 :▼b토지문화재단,▼c2001
300 ▼a81 p. ;▼c30 cm
500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관
504 ▼a참고문헌 수록
650 8▼a생명 과학[生命科學]
650 8▼a생명론[生命論]
710 ▼a토지문화재단
710 ▼a한국생명윤리학회
710 ▼a토지문화관
9501 ▼a가격불명
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
