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SPUTTERING법에 의해 성장시킨 PZT 박막의 표면분석 = Surface analysis of PZT Film prepared by sputting method
표제/저자사항 SPUTTERING법에 의해 성장시킨 PZT 박막의 표면분석 = Surface analysis of PZT Film prepared by sputting method / 김영관, 박주상, 추정우, 손병청, 이전국
형태사항 p. 107-112: 삽도; 26 cm
주기사항 수록자료: 韓國眞空學會誌. 韓國眞空學會. 5권 2호(1996년 6월), p. 107-112 5:2<107 상세보기 ISSN 1225-8822
저자: 김영관, 홍익대학교 화학공학과
저자: 박주상, 홍익대학교 물리학과
저자: 추정우, 홍익대학교 화학공학과
저자: 손병청, 홍익대학교 화학공학과
저자: 이전국, 한국과학기술연구원
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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