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RF 마그네트론 스퍼터링에 의해 저온 증착한 SrTiO₃박막의 전기적 특성 = Electrical properties of SrTiO₃ thin films deposited at low temperatures by RF magnetron sputtering
표제/저자사항 RF 마그네트론 스퍼터링에 의해 저온 증착한 SrTiO₃박막의 전기적 특성 = Electrical properties of SrTiO₃ thin films deposited at low temperatures by RF magnetron sputtering / 김동식, 이재신
형태사항 p. 359-364: 삽도; 26 cm
주기사항 수록자료: 韓國眞空學會誌. 韓國眞空學會. 5권 4호(1996년 12월), p. 359-364 5:4<359 상세보기 ISSN 1225-8822
저자: 김동식, 울산대학교 재료공학과
저자: 이재신, 울산대학교 재료공학과
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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