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RFI ionized magnetron sputtering에서 radial uniformity 문제 = RFI ionized magnetron sputtering에서 radial uniformity 문제
표제/저자사항 RFI ionized magnetron sputtering에서 radial uniformity 문제 = RFI ionized magnetron sputtering에서 radial uniformity 문제 / 주정훈
형태사항 p. 85-90: 삽도; 26 cm
주기사항 수록자료: 韓國眞空學會誌. 韓國眞空學會. 6권 1호(1997년 2월), p. 85-90 6:1<85 상세보기 ISSN 1225-8822
저자: 주정훈, 군산대학교 공과대학 재료공학과
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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