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평면형 유도결합 플라즈마의 특성 및 선택적 산화막 식각 응용에 관한 연구 = (A)study on the characteristics of planar type inductively coupled plasma and its applications on the selective oxide etching
표제/저자사항
평면형 유도결합 플라즈마의 특성 및 선택적 산화막 식각 응용에 관한 연구 = (A)study on the characteristics of planar type inductively coupled plasma and its applications on the selective oxide etching / 양일동, 이호준, 황기웅
형태사항
p. 91-96: 삽도; 26 cm
주기사항
수록자료: 韓國眞空學會誌. 韓國眞空學會. 6권 1호(1997년 2월), p. 91-96 6:1<91 상세보기 ISSN 1225-8822
저자: 양일동, 서울대학교 공과대학 전기공학부
저자: 이호준, 서울대학교 공과대학 전기공학부
저자: 황기웅, 서울대학교 공과대학 전기공학부
저자: 양일동, 서울대학교 공과대학 전기공학부
저자: 이호준, 서울대학교 공과대학 전기공학부
저자: 황기웅, 서울대학교 공과대학 전기공학부
출처
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24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관
260 ▼a원주 :▼b토지문화재단,▼c2001
300 ▼a81 p. ;▼c30 cm
500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관
504 ▼a참고문헌 수록
650 8▼a생명 과학[生命科學]
650 8▼a생명론[生命論]
710 ▼a토지문화재단
710 ▼a한국생명윤리학회
710 ▼a토지문화관
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담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
