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ITO, AZO, SZO 박막의 수소 플라즈마에 대한 안정성 = (The)stability of ITO, AZO and SZO thin films in hydrogen plasma
표제/저자사항 ITO, AZO, SZO 박막의 수소 플라즈마에 대한 안정성 = (The)stability of ITO, AZO and SZO thin films in hydrogen plasma / 임원택, 안유신, 이상기, 안일신, 이창효
형태사항 p. 227-234: 삽도; 26 cm
주기사항 수록자료: 韓國眞空學會誌. 韓國眞空學會. 6권 3호(1997년 8월), p. 227-234 6:3<227 상세보기 ISSN 1225-8822
저자: 임원택, 한양대학교 물리학과
저자: 안유신, 한양대학교 물리학과
저자: 이상기, 한양대학교 물리학과
저자: 안일신, 한양대학교 물리학과
저자: 이창효, 한양대학교 물리학과
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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