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실리카 도파로(Silica Waveguide) 제작을 위한 Inductively Coupled Plasma에 의한 산화막 식각특성 연구 = (The) study of oxide etching characteristics using inductively coupled plasma for silica waveguide fabircation
표제/저자사항
실리카 도파로(Silica Waveguide) 제작을 위한 Inductively Coupled Plasma에 의한 산화막 식각특성 연구 = (The) study of oxide etching characteristics using inductively coupled plasma for silica waveguide fabircation / 박상호, 권광호, 정명영, 최태구
형태사항
p. 287-292: 삽도; 26 cm
주기사항
수록자료: 韓國眞空學會誌. 韓國眞空學會. 6권 3호(1997년 8월), p. 287-292 6:3<287 상세보기 ISSN 1225-8822
저자: 박상호, 한국전자통신연구원 통신부품연구실
저자: 권광호, 한서대학교 전자공학과
저자: 정명영, 한국전자통신연구원 통신부품연구실
저자: 최태구, 한국전자통신연구원 통신부품연구실
저자: 박상호, 한국전자통신연구원 통신부품연구실
저자: 권광호, 한서대학교 전자공학과
저자: 정명영, 한국전자통신연구원 통신부품연구실
저자: 최태구, 한국전자통신연구원 통신부품연구실
출처
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001KMO201509136
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24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관
260 ▼a원주 :▼b토지문화재단,▼c2001
300 ▼a81 p. ;▼c30 cm
500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관
504 ▼a참고문헌 수록
650 8▼a생명 과학[生命科學]
650 8▼a생명론[生命論]
710 ▼a토지문화재단
710 ▼a한국생명윤리학회
710 ▼a토지문화관
9501 ▼a가격불명
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
