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XPS를 이용한 TiN / Cu의 Grain boundary diffusion 연구 = (The)study of Grain boundary diffusion effect in Tin / Cu by Xps
표제/저자사항 XPS를 이용한 TiN / Cu의 Grain boundary diffusion 연구 = (The)study of Grain boundary diffusion effect in Tin / Cu by Xps / 임관용, 이연승, 정용덕, 이경민, 황정남, 최범식, 원정연, 강희재
형태사항 p. 112-117: 삽도; 26 cm
주기사항 수록자료: 韓國眞空學會誌. 韓國眞空學會. 7권 2호(1998년 5월), p. 112-117 7:2<112 상세보기 ISSN 1225-8822
저자: 임관용, 연세대학교 초미세표면과학연구센터, 물리학과
저자: 이연승, 연세대학교 초미세표면과학연구센터, 물리학과
저자: 정용덕, 연세대학교 초미세표면과학연구센터, 물리학과
저자: 이경민, 연세대학교 초미세표면과학연구센터, 물리학과
저자: 황정남, 연세대학교 초미세표면과학연구센터, 물리학과
저자: 최범식, 전주대학교 전자물리학과
저자: 원정연, 충북대학교 물리학과
저자: 강희재, 충북대학교 물리학과
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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