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표면 조성분석의 정량화를 위한 Pt-Co 합금박막 표준시료의 개발 및 공동분석 = Development and round robin test of pt-co alloy thin film standard materials for the quantification of surface compositional analysis
표제/저자사항 표면 조성분석의 정량화를 위한 Pt-Co 합금박막 표준시료의 개발 및 공동분석 = Development and round robin test of pt-co alloy thin film standard materials for the quantification of surface compositional analysis / 김경중, 문대원, 한명섭, 강희재, 김준곤, 한승희, 이중환, 윤선진, 신광수, 김차연, 김태형, 이동석, 김영남, 최홍민, 김경원, 홍태은
형태사항 p. 176-186: 삽도; 26 cm
주기사항 수록자료: 韓國眞空學會誌. 韓國眞空學會. 7권 3호(1998년 8월), p. 176-186 7:3<176 상세보기 ISSN 1225-8822
저자: 김경중, 한국표준과학연구원 표면분석그룹
저자: 문대원, 한국표준과학연구원 표면분석그룹
저자: 한명섭, 한국표준과학연구원 무기분석그룹
저자: 강희재, 충북대학교 물리학과
저자: 김준곤, 한국자원연구소 분석연구부
저자: 한승희, 한국과학기술연구원 특성분석센터
저자: 이중환, 케이맥
저자: 윤선진, 한국전자통신연구원 재료기술연구실
저자: 신광수, 포항산업과학연구원 특성분석팀
저자: 김차연, LG 전자기술원 물성연구실
저자: 김태형, LG 전자기술원 물성연구실
저자: 이동석, 삼성종합기술원 분석연구실
저자: 김영남, 삼성반도체 분석기술팀
저자: 최홍민, LG반도체 초정밀분석그룹
저자: 김경원, LG반도체 초정밀분석그룹
저자: 홍태은, 현대전자 반도체생산본부 품질분석부
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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