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SiO₂와 Co / Ti 이중층 구조의 상호반응 = Interaction of Co / Ti bilayer with SiO2 substrate
표제/저자사항 SiO₂와 Co / Ti 이중층 구조의 상호반응 = Interaction of Co / Ti bilayer with SiO2 substrate / 권영재, 이종무, 배대록, 강호규
형태사항 p. 208-213: 삽도; 26 cm
주기사항 수록자료: 韓國眞空學會誌. 韓國眞空學會. 7권 3호(1998년 8월), p. 208-213 7:3<208 상세보기 ISSN 1225-8822
저자: 권영재, 인하대학교 금속공학과
저자: 이종무, 인하대학교 금속공학과
저자: 배대록, 삼성전자 반도체연구소 LS 공정개발
저자: 강호규, 삼성전자 반도체연구소 LS 공정개발
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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