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PECVD에 의한 DLC 박막의 성장과 그 특성 조사 = (The)growth of diamond-like-carbon (DLC) film by PECVD and the characterization
표제/저자사항 PECVD에 의한 DLC 박막의 성장과 그 특성 조사 = (The)growth of diamond-like-carbon (DLC) film by PECVD and the characterization / 조재원, 김태환, 김대욱, 최성수
형태사항 p. 248-254: 삽도; 26 cm
주기사항 수록자료: 韓國眞空學會誌. 韓國眞空學會. 7권 3호(1998년 8월), p. 248-254 7:3<248 상세보기 ISSN 1225-8822
저자: 조재원, 광운대학교 전자물리학과
저자: 김태환, 광운대학교 전자물리학과
저자: 김대욱, 선문대학교 물리학과
저자: 최성수, 선문대학교 물리학과
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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