기사
헬리칼 공명 플라즈마에서 축 방향의 외부 자장이 기판상의 플라즈마 밀도에 미치는 영향 = Effects of axial external magnetic fields on plasma density on substrate in helical resonator plasma source
표제/저자사항 헬리칼 공명 플라즈마에서 축 방향의 외부 자장이 기판상의 플라즈마 밀도에 미치는 영향 = Effects of axial external magnetic fields on plasma density on substrate in helical resonator plasma source / 김태현, 태흥식, 이용현, 이호준, 이정해, 최경철
형태사항 p. 172-179: 삽도; 26 cm
주기사항 수록자료: 韓國眞空學會誌. 韓國眞空學會. 8권 2호(1999년 5월), p. 172-179 8:2<172 상세보기 ISSN 1225-8822
저자: 김태현, 경북대학교 공과대학 전자전기공학부
저자: 태흥식, 경북대학교 공과대학 전자전기공학부
저자: 이용현, 경북대학교 공과대학 전자전기공학부
저자: 이호준, 위덕대학교 공과대학 전기공학과
저자: 이정해, 홍익대학교 공과대학 전자전기공학부
저자: 최경철, 경북대학교 공과대학 전자전기공학부
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
위로