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Growth studies of chromium thin films using real-time spectroscopic ellipsometry = 실시간 분광 엘립소미트리를 이용한 크롬 박막의 성장연구
표제/저자사항 Growth studies of chromium thin films using real-time spectroscopic ellipsometry = 실시간 분광 엘립소미트리를 이용한 크롬 박막의 성장연구 / 이용달, 정지용, 방경윤, 오혜근, 안일신
형태사항 p. 327-332: 삽도; 26 cm
주기사항 수록자료: 韓國眞空學會誌. 韓國眞空學會. 8권 3(2)호(1999년 8월), p. 327-332 8:3(2)<327 상세보기 ISSN 1225-8822
저자: 이용달, 한양대학교 물리학과 및 전자재료 및 부품센터
저자: 정지용, 한양대학교 물리학과 및 전자재료 및 부품센터
저자: 방경윤, 한양대학교 물리학과 및 전자재료 및 부품센터
저자: 오혜근, 한양대학교 물리학과 및 전자재료 및 부품센터
저자: 안일신, 한양대학교 물리학과 및 전자재료 및 부품센터
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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