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반응성 r.f. 스퍼터링에 의한 마이크로 박막 전지용 산화바나듐 박막의 제작 및 전기화학적 특성 평가 = Fabrication and electrochemical characterization of amorphous vanadium oxide thin films for thin film micro-battery by reactive r.f. sputtering
표제/저자사항 반응성 r.f. 스퍼터링에 의한 마이크로 박막 전지용 산화바나듐 박막의 제작 및 전기화학적 특성 평가 = Fabrication and electrochemical characterization of amorphous vanadium oxide thin films for thin film micro-battery by reactive r.f. sputtering / 전은정, 신영화, 남상철, 윤영수, 조원일
형태사항 p. 42-47: 삽도; 26 cm
주기사항 수록자료: 韓國眞空學會誌. 韓國眞空學會. 9권 1호(2000년 3월), p. 42-47 9:1<42 상세보기 ISSN 1225-8822
저자: 전은정, 경원대학교 전기전자공학과
저자: 신영화, 경원대학교 전기전자공학과
저자: 남상철, 한국과학기술연구원 전지, 연료전지센터
저자: 윤영수, 한국과학기술연구원 박막기술연구센터
저자: 조원일, 한국과학기술연구원 전지, 연료전지센터
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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