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초고집적소자의 층간절연막용 polysilazane계 spin on glass (SOG)에 관한 연구 = (A)study on the spin on glass (SOG) from polysilazane resin for the premetal dielectric (PMD) layer of sub-quarter micron devices
표제/저자사항
초고집적소자의 층간절연막용 polysilazane계 spin on glass (SOG)에 관한 연구 = (A)study on the spin on glass (SOG) from polysilazane resin for the premetal dielectric (PMD) layer of sub-quarter micron devices / 나사균, 정석철, 이재관, 김진우, 홍정의, 이원준
형태사항
p. 69-75: 삽도; 26 cm
주기사항
수록자료: 韓國眞空學會誌. 韓國眞空學會. 9권 1호(2000년 3월), p. 69-75 9:1<69 상세보기 ISSN 1225-8822
저자: 나사균, 대전산업대학교 재료공학과 반도체 기술연구소
저자: 정석철, 현대반도체 연구소
저자: 이재관, 현대반도체 연구소
저자: 김진우, 현대반도체 연구소
저자: 홍정의, 현대반도체 연구소
저자: 이원준, 현대반도체 연구소
저자: 나사균, 대전산업대학교 재료공학과 반도체 기술연구소
저자: 정석철, 현대반도체 연구소
저자: 이재관, 현대반도체 연구소
저자: 김진우, 현대반도체 연구소
저자: 홍정의, 현대반도체 연구소
저자: 이원준, 현대반도체 연구소
출처
국립중앙도서관 바로가기
MARC 보기
001KMO201509136
00520150303111639
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008150107s2001 gak 100 kor
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24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관
260 ▼a원주 :▼b토지문화재단,▼c2001
300 ▼a81 p. ;▼c30 cm
500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관
504 ▼a참고문헌 수록
650 8▼a생명 과학[生命科學]
650 8▼a생명론[生命論]
710 ▼a토지문화재단
710 ▼a한국생명윤리학회
710 ▼a토지문화관
9501 ▼a가격불명
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
