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레이저 유도 형광법을 이용한 유도 결합 플라즈마내의 CF, CF₂라디칼의 거동에 관한 연구 = (A)study on the behavior of CF, CF2 radicals in an inductively coupled plasma using Laser Induced Fluorescence
표제/저자사항 레이저 유도 형광법을 이용한 유도 결합 플라즈마내의 CF, CF₂라디칼의 거동에 관한 연구 = (A)study on the behavior of CF, CF2 radicals in an inductively coupled plasma using Laser Induced Fluorescence / 김정훈, 이호준, 황기웅, 주정훈
형태사항 p. 76-80: 삽도; 26 cm
주기사항 수록자료: 韓國眞空學會誌. 韓國眞空學會. 9권 1호(2000년 3월), p. 76-80 9:1<76 상세보기 ISSN 1225-8822
저자: 김정훈, 서울대학교 공과대학 전기공학부 플라즈마 실험실
저자: 이호준, 위덕대학교 전자공학과
저자: 황기웅, 서울대학교 공과대학 전기공학부 플라즈마 실험실
저자: 주정훈, 군산대학교 재료공학과
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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