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증착조건 및 열처리조건에 따른 ZrO₂ 박막의 미세구조와 전기적 특성에 관한 연구 = (A)study of the microstructures and electrical properties of ZrO₂ thin film on Si(100)
표제/저자사항
증착조건 및 열처리조건에 따른 ZrO₂ 박막의 미세구조와 전기적 특성에 관한 연구 = (A)study of the microstructures and electrical properties of ZrO₂ thin film on Si(100) / 유정호, 남석우, 고대홍, 오상호, 박찬경
형태사항
p. 341-345: 삽도; 26 cm
주기사항
수록자료: 韓國眞空學會誌. 韓國眞空學會. 9권 4호(2000년 12월), p. 341-345 9:4<341 상세보기 ISSN 1225-8822
저자: 유정호, 연세대학교 세라믹공학과
저자: 남석우, 연세대학교 세라믹공학과
저자: 고대홍, 연세대학교 세라믹공학과
저자: 오상호, 포항공대 재료공학과
저자: 박찬경, 포항공대 재료공학과
저자: 유정호, 연세대학교 세라믹공학과
저자: 남석우, 연세대학교 세라믹공학과
저자: 고대홍, 연세대학교 세라믹공학과
저자: 오상호, 포항공대 재료공학과
저자: 박찬경, 포항공대 재료공학과
출처
국립중앙도서관 바로가기
MARC 보기
001KMO201509136
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008150107s2001 gak 100 kor
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24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관
260 ▼a원주 :▼b토지문화재단,▼c2001
300 ▼a81 p. ;▼c30 cm
500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관
504 ▼a참고문헌 수록
650 8▼a생명 과학[生命科學]
650 8▼a생명론[生命論]
710 ▼a토지문화재단
710 ▼a한국생명윤리학회
710 ▼a토지문화관
9501 ▼a가격불명
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
