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W-TiN 복층 전극 소자에서 TiN 박막 형성 조건에 따른 특성 분석 = Characteristics of W-TiN Gate Electrode Depending on the Formation of TiN Thin Film
표제/저자사항
W-TiN 복층 전극 소자에서 TiN 박막 형성 조건에 따른 특성 분석 = Characteristics of W-TiN Gate Electrode Depending on the Formation of TiN Thin Film / 윤선필, 노관종, 양성우, 노용한, 김기수, 장영철, 이내응
형태사항
p. 189-193: 삽도; 26 cm
주기사항
수록자료: 韓國眞空學會誌. 韓國眞空學會. 10권 2호(2001년 7월), p. 189-193 10:2<189 상세보기 ISSN 1225-8822
저자: 윤선필, 성균관대학교 전기전자및컴퓨터공학부
저자: 노관종, 성균관대학교 전기전자및컴퓨터공학부
저자: 양성우, 성균관대학교 전기전자및컴퓨터공학부
저자: 노용한, 성균관대학교 재료공학과
저자: 김기수, 성균관대학교 재료공학과
저자: 장영철, 성균관대학교 재료공학과
저자: 이내응, 성균관대학교 재료공학과
저자: 윤선필, 성균관대학교 전기전자및컴퓨터공학부
저자: 노관종, 성균관대학교 전기전자및컴퓨터공학부
저자: 양성우, 성균관대학교 전기전자및컴퓨터공학부
저자: 노용한, 성균관대학교 재료공학과
저자: 김기수, 성균관대학교 재료공학과
저자: 장영철, 성균관대학교 재료공학과
저자: 이내응, 성균관대학교 재료공학과
출처
국립중앙도서관 바로가기
MARC 보기
001KMO201509136
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008150107s2001 gak 100 kor
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24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관
260 ▼a원주 :▼b토지문화재단,▼c2001
300 ▼a81 p. ;▼c30 cm
500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관
504 ▼a참고문헌 수록
650 8▼a생명 과학[生命科學]
650 8▼a생명론[生命論]
710 ▼a토지문화재단
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710 ▼a토지문화관
9501 ▼a가격불명
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
