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150 mm GaAs 웨이퍼의 플라즈마 식각에서 식각 깊이의 균일도에 대한 가스 흐름의 최적화 연구 = Effect of gas now modulation on etch depth uniformity for plasma etching of 150 mm GaAs wafers
표제/저자사항
150 mm GaAs 웨이퍼의 플라즈마 식각에서 식각 깊이의 균일도에 대한 가스 흐름의 최적화 연구 = Effect of gas now modulation on etch depth uniformity for plasma etching of 150 mm GaAs wafers / 정필구, , 임완태, 조관식, 전민현, 임재영, 이제원, 조국산
형태사항
p. 113-118: 삽도; 26 cm
주기사항
수록자료: 韓國眞空學會誌. 韓國眞空學會. 11권 2호(2002년 6월), p. 113-118 11:2<113 상세보기 ISSN 1225-8822
저자: 정필구, 인제대학교 광대역정보통신학과
저자: 임완태, 인제대학교 광대역정보통신학과
저자: 조관식, 인제대학교 광공학과/나노응용기술연구소
저자: 전민현, 인제대학교 광공학과/나노응용기술연구소
저자: 임재영, 인제대학교 광공학과/나노응용기술연구소
저자: 이제원, 인제대학교 광공학과/나노응용기술연구소 E-MAIL: E-mail: jwlee@ijnc.inje.ac.kr
저자: 조국산, (주)클라이오텍
저자: 정필구, 인제대학교 광대역정보통신학과
저자: 임완태, 인제대학교 광대역정보통신학과
저자: 조관식, 인제대학교 광공학과/나노응용기술연구소
저자: 전민현, 인제대학교 광공학과/나노응용기술연구소
저자: 임재영, 인제대학교 광공학과/나노응용기술연구소
저자: 이제원, 인제대학교 광공학과/나노응용기술연구소 E-MAIL: E-mail: jwlee@ijnc.inje.ac.kr
저자: 조국산, (주)클라이오텍
출처
국립중앙도서관 바로가기
MARC 보기
001KMO201509136
00520150303111639
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008150107s2001 gak 100 kor
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05201▼a470▼b15-3
056 ▼a470▼26
08201▼a570▼223
24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관
260 ▼a원주 :▼b토지문화재단,▼c2001
300 ▼a81 p. ;▼c30 cm
500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관
504 ▼a참고문헌 수록
650 8▼a생명 과학[生命科學]
650 8▼a생명론[生命論]
710 ▼a토지문화재단
710 ▼a한국생명윤리학회
710 ▼a토지문화관
9501 ▼a가격불명
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
