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KOH 용액 및 KOH-IPA 혼합용액에 의한 단결정 실리콘의 이방성식각 특성 = Anisotropic etching characteristics of single crystal silicon by KOH and KOH-IPA solutions
표제/저자사항 KOH 용액 및 KOH-IPA 혼합용액에 의한 단결정 실리콘의 이방성식각 특성 = Anisotropic etching characteristics of single crystal silicon by KOH and KOH-IPA solutions / 조남인, 천인호
형태사항 p. 249-255: 삽도; 26 cm
주기사항 수록자료: 韓國眞空學會誌. 韓國眞空學會. 11권 4호(2002년 12월), p. 249-255 11:4<249 상세보기 ISSN 1225-8822
저자: 조남인, 선문대학교 전자정보통신공학부 E-MAIL: E-mail: nicho@sunmoon.ac.kr
저자: 천인호, 선문대학교 전자정보통신공학부
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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