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진공아크 증착법과 다른 공정에 의해 증착된 MgO 박막 특성 비교 = Comparison of characteristics of MgO films deposited by vacuum arc method with other methods
표제/저자사항 진공아크 증착법과 다른 공정에 의해 증착된 MgO 박막 특성 비교 = Comparison of characteristics of MgO films deposited by vacuum arc method with other methods / 이은성, 김종국, 이성훈, 이건환
형태사항 p. 112-117: 삽도; 26 cm
주기사항 수록자료: 韓國眞空學會誌. 韓國眞空學會. 12권 2호(2003년 6월), p. 112-117 12:2<112 상세보기 ISSN 1225-8822
저자: 이은성, 한국기계연구원(KIMM) 표면연구부 기능박막그룹 E-MAIL: E-mail: les9288@kmail.kimm.re.kr
저자: 김종국, 한국기계연구원(KIMM) 표면연구부 기능박막그룹
저자: 이성훈, 한국기계연구원(KIMM) 표면연구부 기능박막그룹
저자: 이건환, 한국기계연구원(KIMM) 표면연구부 기능박막그룹
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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